1）技術(shù)參數(shù)： 2）產(chǎn)品特點(diǎn)：ü設(shè)備采用知名品牌觸摸屏和PLC自動(dòng)控制，包括自動(dòng)調(diào)節(jié)、自動(dòng)操作、自動(dòng)報(bào)警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過(guò)載、氣體報(bào)警、放空?qǐng)?bào)警、射頻電源反射功率報(bào)警、電源無(wú)功率輸出...
1）技術(shù)參數(shù)： 
2）產(chǎn)品特點(diǎn)：
ü 設(shè)備采用知名品牌觸摸屏和PLC自動(dòng)控制，包括自動(dòng)調(diào)節(jié)、自動(dòng)操作、自動(dòng)報(bào)警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過(guò)載、氣體報(bào)警、放空?qǐng)?bào)警、射頻電源反射功率報(bào)警、電源無(wú)功率輸出報(bào)警、真空度過(guò)高報(bào)警、真空度過(guò)低報(bào)警等），所有運(yùn)行參數(shù)可監(jiān)控，充分保證操作便捷、高效。
ü 設(shè)備采用專業(yè)定制的最優(yōu)工藝參數(shù)，包括等離子發(fā)生源的功率、頻率及放電時(shí)間、工藝氣體配比及進(jìn)氣量等，共同保證貨品的最優(yōu)處理效果。
3）應(yīng)用范圍：
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